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      KS-S150 星型全自动涂胶显影机

      KS-S150星型全自动涂胶显影机用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及化合物半导体的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆,产品涉及多个应用领域,涂胶机产能大于190片/小时。设备通过了CSA认证。
      产品优势:

      1.占地小、稳定性高、操作与维护方便
      2.产能高,涂胶机产能大于190片/小时
      3.光刻胶用量小,4寸用量0.6ml
      4.优异的流场设计,涂胶均匀性好

      应用领域:

      ●传感器芯片制造
      ●光通信芯片制造
      ●功率芯片制造
      ●LED芯片制造
      ●图形化衬底制造
      ●化合物半导体领域

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